熱壓鍵合技術(shù)

雖然 Au-Au 熱壓焊接可以在室溫和高真空下進(jìn)行，但這種焊接在常規(guī)制造環(huán)境中需要高壓和高界面溫度。熱壓鍵合是一種固相鍵合，將熱量和力結(jié)合到一起，焊件發(fā)生塑性變形，去除表面污染物（空氣、碳雜質(zhì)、氧化物等），形成緊密接觸的潔凈表面。在這個(gè)接觸點(diǎn)，短程原子間作用力和熱量形成了金屬-金鍵。

活化能因此形成金屬焊縫。主要過(guò)程變量（時(shí)間、溫度和變形）服從Arrhe-nius關(guān)系，對(duì)其活化能進(jìn)行了研究。活化能由高界面溫度提供，對(duì)于大多數(shù)熱壓鍵合而言，界面溫度約為 300°C。

熱量通常通過(guò)加熱整個(gè)設(shè)備來(lái)提供，也就是說(shuō)，通過(guò)將其與加熱的工作臺(tái) (WH) 接觸來(lái)提供。然而，加熱的鍵合工具 (≥ 400°C) 也可以單獨(dú)使用或與 WH 加熱結(jié)合使用。球焊技術(shù)通常通過(guò)瓷嘴送出引線，球鍵合后，瓷嘴可以任意方向移動(dòng)，目前的自動(dòng)球鍵合機(jī)比楔形鍵合設(shè)備的鍵合速度快數(shù)倍。